Varian涡轮分子泵维修质量放心可靠「潽拓光电」

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广州潽拓光电——维修销售LEYBOLD TURBOVAC 361C莱宝分子泵

概述：

Leybold早将陶瓷轴承应用于分子泵，其rotor设计充分考虑到加工的应力，转动的叶片和定子之间只有0.1毫米。制造公差达到微米级。在转速高达每分钟7.2万转时，叶片端部的速度接近超音速。

Leybold TMP360/TMP361/TMP361C是Leybold经典的产品之一

TURBOVAC 361及361C 分子泵有以下四种配置（进/出气口法兰形式）：100 ISO-K/25 KF；4、先拆低真空端，取下后端盖，再取出低真空转子、旋片及弹簧等。100 CF/25 KF;160 ISO-K/25 KF；160 CF/25 KF;本模型组合包括以上2种接口模型。 TURBOVAC 361及361C型号名称中有字母“C”的TURBOVAC泵配有吹扫气装置。吹扫气的作用是保护TURBOVAC的轴承区域和电机。 

该型号产品技术特点：

- 占地面积小；

- 任意方向安装；

- 分子泵由于无油，可以提供洁净的高真空和超高真空条件；

- 通过TURBO.DRIVE TD 20Classic测量轴承温度。

- 节省空间；

- 易于集成到复杂的真空系统；

- 运行成本低；

- 耐粉尘

Leybold Turbovac 361涡轮分子泵的实拍图片，

我司从事机电自动化，光电存储媒体，半导体，医liao，太阳能电池板,玻璃镀膜,科学研究所等真空镀膜设备维修，销售，设计，开发及系统工程，软件开发，leybold,Pfeiffer,Alcatel,Agilent(Varian),BOC Edwa***,Osaka,ULVAC,Shimadzu等一线品牌分子泵,真空泵,真空计***维修***/销售等业务。性能特征：工作压力低至10-3mbar工作温度低低压下返流***xiao在10-2mbar低压范围内具有良好的抽气速率和气镇效果。

5大防腐特性

嵌入式75°C加热系统

惰性气体吹扫

5轴控制

自动平衡系统

高通量应用

ATH 400 M,ATH 1000M,TH1300M 是专为高压、

高通量的半导体工业以及其他薄镀膜工艺而设计。

紧凑而现代的设计

高平均无故障时间

使用成本低

可调节转速以优化抽气时的参数

低噪音低振动

无需电池

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Varian twisttorr 304 FS，二手分子泵出售


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Agilent TwisTorr 304 FS Turbo pump 安捷伦Varian TwistTorr 304 FS涡轮泵采用6英寸conflat法兰，抽速为255 l / s氮气，KF-16前级法兰（KF-25可选），环境工作温度为5°C至+ 35°C 。这些304 FS泵的启动时间为3分钟，转速为60000转/分，推荐使用SH-110或DS-102的前级泵。当条件为环境空气温度为5-35°C或小流量水冷时，冷却要求 为强制空气：50 l / h（0.89 GPM），水温在+ 15°C至+ 30°C之间水压为45至75 psi。可以看出，涡轮分子泵也是一种机械式真空泵，分子泵的核心部件是旋转叶片和固定叶片。

光刻机光刻机是生产大规模集成电路的核心设备，制造和维护需要高度的光学和电子工业基础，世界上只有少数厂家掌握，因此光刻机价格昂贵。光刻机光刻过程必须在高真空环境中实现，原因是极紫外光很娇贵，在空气中容易损耗。同时，在光刻过程中，设备的动作时间误差以皮秒计，这对磁悬浮分子泵的振动值要求极高。一般建议客户使用3-6个月需要更换，污染比较严重行业，更换时间会缩短。 Varian涡轮分子泵维修