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发布时间:2021-12-06 01:28:36





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分子泵对不同的气体的抽速和压缩比是有显著不同的。压缩比描述的是分子泵对特定气体的压缩能力。在分子泵的排气口压力保持不变的情况下,对压缩比比较大的分子泵来说,气体分子由排气口返流回进气口的量较小,反之,则返流较大。
在分子泵刚刚开始工作的阶段,由于有大量的气体由进气口被抽到排气口,所以这种返流对实际抽速带来的影响不是很大,而随着进气口压力的下降,分子泵抽下来的气体量在减少,这时,气体返流对抽速的影响也就大起来了。主要的产品研制地点设在美国、中国、德国、日本、韩国、马来西亚、新加坡、澳大利亚和英国。这就是分子泵对小分子气体,特别是氢气的抽气能力较差的原因。

发展真空技术,助力半导体行业我国是世界大的半导体消费市场,但产业链整体价值水平较低,尤其是关键材料与核心设备和零部件方面,存在较大国外品牌依赖。经过不断的努力,使其有着融洽和谐的工作环境、积极进取,秉承着创新为核,技术为本的研发理念,并向着国内***技术的目标迈进。例如,薄膜沉积、刻蚀、离子注入等半导体制造中关键工艺过程核心部件——磁悬浮分子泵,长期被国外垄断。面对“卡脖子”问题,中科科仪积极响应***需求,承担科技部《极大规模集成电路制造技术及成套工艺》专项中“磁悬浮分子泵系列产品开发与产业化”项目,攻克多项关键技术,于2011年成功研制国内第i一台磁悬浮分子泵,打破国外产品垄断。varian真空分子泵维修
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品牌:阿尔卡特 型号:AC-200 材质:铸铁 驱动方式:电动泵 轴位置:卧式 叶轮结构:封闭式叶轮
叶轮数目:多级 叶轮吸入方式:单吸式 性能:无***
流量:20(m3/h) 扬程标准:(m) 汽蚀余量标准:(m)
轴功率标准:(kW) 吸入口径标准:(mm) 排出口径标准:(mm)


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