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广州潽拓光电成功维修 莱宝真空泵半磁浮分子泵TURBOVAC 350 i

       莱宝真空泵半磁浮分子泵TURBOVAC 350i

工作原理

    涡轮分子泵转子是一个带叶片的涡轮，快速旋转的叶片将动量传输给气体分子，将起初无方向性的热运动变成有定向运动。

    涡轮分子泵的抽气过程就是使气体分子从进气口法兰定向运动到前级真空口。

     在分子流范围——也就是在低于10-3mbar(0.75x 10-3Torr)的压强时，气体分子的平均自由行程大于转子与定子叶片之间的间距(典型为十分之零点几毫米)，分子主要与转子叶片碰撞，所以

抽气过程非常。

    莱宝Leybold turbovac MAG W 3200涡轮分子泵


     TURBOVAC MAG W 3200 C/CT常用于半导体工业使用的涡轮分子泵。在半导体工业，涡轮分子泵用于以下应用场合：- 蚀刻；- 溅射；- 离子注入；- CVD；- 光刻。这些应用中，经常需要抽除腐蚀性气体。需要使用配有吹扫气体设备的磁悬浮分子泵，以免轴承损坏。尤其对于金属蚀刻，涡轮分子泵的泵内可能发生沉积现象， 选用带温度控制的扩展附件在MAG 1500 C、MAG 2000 C、MAG2800和MAG 3200可以防止这种情况。与机械轴承涡轮分子泵相比，磁悬浮泵的优势在于气体流量较大时可以防止轴承过热，能够有效地防止腐蚀性介质对磁悬浮轴承的损坏。

Leybold 分析仪器泵莱宝TW250S分子泵维修

     广州潽拓光电科技有限公司维修Leybold  TW250 S分子泵，Leybold  TW250 S德国莱宝涡轮分子泵可任意角度安装，Leybold TW250 S德国莱宝分子泵进气法兰口DN100ISO-K/DN100CF，出气法兰口DN16 ISO-KF，抽速可达到230l/s，转速为51600rpm，对应的控制器为：Leybold TDS  TDS。

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潽拓光电科技维修莱宝 Leybold Turbovac 340 ML分子泵

Leybold Turbovac 340 ML分子泵维修产品属性：类型：其他

泵材质：不锈钢

泵用途：化工

型号： Turbovac 340 ML

泵轴位置：边立式

叶轮数目：多级

适用范围：真空设备

流量：270

扬程：2

吸入口径：DN100

排出口径：DN16