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发布时间:2022-03-08 03:53:50





广州潽拓光电科技有限公司——广州Agilent分子泵维修厂
TwisTorr 305 Q 系列分子泵。
该系列包含 305 FSQ、305-ICQ ,以及两个带有中间抽气口的型号 305 SF 和305-IC SF。305 FSQ 和 305 SF 通过***的控制器供电和控制,而 305-ICQ 和 305-IC SF 具有集成于泵身的控制器,只需要为其提供 24V 电源即可工作。
450 sccm 的氮气流量
305 FSQ 和 305 SF可以处理 450 sccm 的氮气流量,和 500 sccm 的氢气/氦气流量,在同等抽速和功率的产品中,是要求高气体流量的科研和工业应用的理想选择。而具有集成式控制器的 305-ICQ 和 305-IC SF 也可以处理 380 sccm 的氮气流量,和 500 sccm 的氢气/氦气流量,可以应对绝大多数的仪器应用。
真空泵是一个量大面广的产品,产量很大,产值不高,但它确实是一个直接影响到真空成套设备性能质量的的基础产品。真空泵的市场根据用户的需要而发生动态变化。市场增长的主要驱动力来自于半导体工业的迅速发展以及干泵和分子泵应用领域的日益扩大。在我国,真空泵是一个量大面广的产品,但是虽然它的产量很大,但是产值却不高。虽然真空泵是一个直接影响到真空成套设备性能质量的基础产品,不过在真空泵产品的领域.,国产品牌真空泵并不多,大量的市场份额被进口企业所把持。真空泵的市场发展速度可以用日新月异来形容,几乎每时每刻都在根据用户需求的变动而动态变化着。真空泵市场增长的主要驱动力来自于半导体工业的迅速发展、真空泵技术不断革新以及真空泵应用领域的日益扩大。
改进的转子结构
TwisTorr 305 Q 系列分子泵拥有的转子结构:比其他 305 分子泵增加了一级涡轮叶片,并采用了与其他 305 分子泵不同的 MacroTorr 牵引级。MacroTorr 牵引级是专为大气载而设计的,它拥有更宽大的气体通道,解决了其他牵引级结构在高负载长期运行时发热集中的问题,可以承受持续的大气体流量,并可将前级耐压提高至 16 mbar。
国外干泵市场的不断增长,其主要驱动来自于半导体行业、化学工业、薄膜产业的迅速发展。在日本,半导体行业已全部用干式真空泵代替油封式机械泵,欧美半导体行业45%以上用干式真空泵代替了油封式机械泵,大大提高了产品的性能和质量。为了满足不同应用领域和不同工况的要求,国外有多级罗茨真空泵、多级爪式真空泵、螺杆式真空泵、涡旋式真空泵、往复式活塞真空泵以及涡轮式无油真空泵等。极限压力从10Pa~10-2Pa,抽速从20m3/h~500m3/h。据统计,目前国产干泵的应用还不足1%,国内半导体工业用的干泵全部从国外进口,其价格十分昂贵。所以,我国应大力研究开发干泵,使干泵成为我国真空工业新的经济增长点。
干式真空泵主要应用于半导体、化工、电影、仪器、、食品等范围广泛的行业,市场上超过50%的产品是进口品牌,尤其在半导体行业中,绝大多数的真空泵均为国外品牌,国产真空泵主要应用于化工等行业。
罗茨真空泵市场
从国外罗茨泵生产情况来看,国外几家大公司,如Leybold、Balzers、Alcatell、Edwa***和ULVAC,他们各家罗茨泵的销售额占罗茨泵销售额的比例都没超过5%,这5家总计才20%,罗茨泵产量不大,但国外罗茨泵的价格远比国产泵要高得多。目前,国内外几乎所有大型或小型的高真空和中真空系统,为了缩短抽气时间、提高生产效率都配有罗茨泵,所以国产罗茨泵一定要在占领基础上设法进入国际市场,这样就必须进一步降低国产罗茨泵的振动噪声,轴封漏油问题,改进泵的外观质量,提高泵内的光洁度和清洁度。另外,还要考虑到有些***和地区的电源频率为60Hz,更要确保罗茨泵在提高转速的情况下长期运行的可靠性
分子泵叶片破碎的原因:
答:造成分子泵转子、静子打碎的原因比较多,归纳起来主要是以下几点:
①、误操作;比如突然的破真空,因为转子与静子叶片之间的空隙非常的小,如果叶片的材质比较薄或者比较软,突然的空气阻力会造成叶片变形,这样可能会造成转子静子之间的摩擦,导致打碎。
②、是***掉入;没有安装过滤网使肯定不行的,另外掉进去的东西不一定要多大,但如果硬度够了一样会造成伤害,轻则造成叶片边缘被打成锯齿状,重则打碎叶片。所以现在的设备商在安装分子泵的时候会尽量改为侧面90度或倒立安装,避免***掉入。
③、电压的不稳定,特别对磁浮类的分子泵损伤较大。
④、前级泵的效率差;我们知道腔体内的大部分气体首先是通过前级泵抽出,真空达到一定程度分子泵才会启动。如果前级泵的效率差,分子泵就会比较吃力,启动速度慢,抽气时间长,电流高,分子泵温度升高等。
⑤、、分子泵***时的动平衡没有做好,这是技术的关键,动平衡差,振动就大,抽气效率就差,也容易造成轴承部分的过度磨损。
⑥、轴承部分没有使用原厂的标准轴承,效果和尺寸不标准等。
广州潽拓光电科技有限公司——广州Agilent分子泵维修厂空挡滑行不可取
分子泵工作时转速很高(数万转/分钟),加减速过程中,不可避免的要经过某些***的共振频率,长时间在这些共振频率运转,会增加轴承负荷、进而增加分子泵故障的风险。在真空下自然停泵(空挡滑行)时,由于真空下空气阻力很小,分子泵转子要经过几十分钟甚至数小时的时间才能完全停止,其中在共振频率运转的时间也会比较长。一般建议分子泵停机时,手动或者通过充气阀(Vent Valve),通过充气口充入空气/氮气,增加转子阻力使其快速停机;手动充气时,要注意控制充气速度,使停机时间和分子泵启动时间相当(根据泵的大小不同而不同,一般为 3-10 分钟)。
涡轮泵以满转速持续运行。初始的磁场设置为 1mT ,泵在该磁场下运行 12 个小时以稳定转子温度;然后关闭磁场,再运行 12 个小时以使转子降温;然后再分别把磁场设置为 2mT,按照前面的步骤继续进行测试,直至磁场增加到 7mT 。修复应用中使用技术,MACHINA 可以协助 OPD 实验室内部艺术品的修复,由于一些尺寸较大或者极其精致的作品可能无法移动,它也可以被轻松移动到现场或者其他的实验室和博物馆。
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