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广州潽拓光电科技有限公司——广州Agilent分子泵升级

测试过程

试验期间，涡轮泵以满转速持续运行。初始的磁场设置为 1mT ，泵在该磁场下运行 12 个小时以稳定转子温度；然后关闭磁场，再运行 12 个小时以使转子降温；然后再分别把磁场设置为 2mT，按照前面的步骤继续进行测试，直至磁场增加到 7mT 。

测试结果

当磁场逐步增加后，被测分子泵转子的平衡温度也随之上升，当磁场强度为 7mT 时，平衡温度上升到 100 摄氏度左右（安捷伦分子泵的允许温度为 120 度）。

另外，KIT 使用该测试平台测试了另一台其它品牌的分子泵，一系列的对比测试表明，安捷伦分子泵在相同的磁场条件下转子的平衡温度明显较低（ 5mT 时，低大约40度）。

TwisTorr 404 FS 涡轮分子泵TwisTorr 404 FS 配备 DN100 法兰，可提供 400 L/s 的抽速，对轻质气体可实现高压缩比，还配备已注册商标的安捷伦悬浮轴承技术 (AFS)，确保低振动和低噪音，适用于各种敏感环境。TwisTorr 404 FS 的高压缩比、高前级耐压能力和免维护运行使其成为一种可靠、、低成本的分子泵。

404 FS 是 UHV 系统、核研究、离子注入器、表面分析、电子显微镜和低温应用的选择。该泵的智能控制器可根据系统需要自动优化泵的性能。

TwisTorr 404 FS 涡轮分子泵特性可对轻质气体实现高压缩比，同时支持高气体流速，从而能够通过 DN100 法兰以 400 L/s 的抽速在极低的极限压力下运行，同时可用于高通量应用无烃运行，可确保真空系统洁净远程控制器可在距离 100 m 处进行操作。低振动和低噪音 (43 dB(A))，打造舒适的工作环境并且可以在敏感的实验环境下运行体积小巧，可安装在任何位置，有利于轻松集成免维护轴承，零运行成本通过 Vacuum Link 应用程序实现无线控制，以便随时随地进行泵的操作防辐射和防磁场设计，无嵌入式电子设备，可在强磁场和辐射环境下运行低电磁辐射，确保不会干扰工艺过程泵控制软件使灵活性、速度和简便性达到化，可在泵的操作条件下始终保持气体流量和压缩比

性能指标H2 压缩比3 x 106冷却方法Air coolingWater cooling前级管道法兰尺寸KF 25 NW前级耐压 — N210 mbar启动时间< 5 min噪音水平43 dB(A)工作位置Any建议采用的前级泵容量10 m3/h抽速 — Ar340 L/s抽速 — H2415 L/s抽速 — He505 L/s抽速 — N2380 L/s气体通量 — Ar、水冷3.3 mbar L/s；195 sccm气体通量 — N2、水冷6.2 mbar L/s；367 sccm极限真空<1 x 10–10 mbar标准和认证61326-1

61010-1

DIR 2006/42/CE

DIR 2014/35/EU

DIR 2014/30/EU

DIR 2011/65/EU法兰类型DN 100贮存环境温度-40 至 +70 °C运行环境温度+5 to +35 °C重量22.6 kg额定转速从 40.8 至 49.5 KRPM

在考古和艺术品鉴定、修复行业，科学仪器发挥着越来越重要的作用，艺术史学家、考古学家和艺术品修复使用各种仪器来研究世界各地的艺术和文化遗产，近年来，一种使用安捷伦真空产品的全新仪器正在帮助他们给古董艺术品带来新的生命。

不过分子泵的高转速使得它十分“脆弱”。一粒灰尘甚至气体本身都会对运转中的风扇造成巨大的伤害。所以分子泵只可以用来抽已经具有一定真空度的腔体，并且其出气端也要保证有较好的真空度防止气体倒灌伤害叶片。我们采取的办法是给分子泵接入一个前级泵，一般都是用机械泵。只有先用机械泵将腔体中的真空度抽至10Pa以下的时候，分子泵才可以启动。并且只要分子泵在启动状态，前级机械泵就要一致维持运转。启动和关闭都要严格遵循程序，否则就可能造成“机毁泵亡”哦。

涡轮分子泵是利用高速旋转的动叶轮将动量传给气体分子，使气体产生定向流动而抽气的真空泵。其优点是启动快，能抗各种射线的照射，耐大气冲击，无气体存储和解吸效应，无油蒸气污染或污染很少，能获得清洁的超高真空。好凯德涡轮分子泵还具有灵活的安装方式，高抽速不受高负荷或杂质气体***影响。