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振动分析   在制造过程中以及泵运输前的测试中，对每台泵的振动频谱进行验证。全速下的平均大振动水平：0.4 m/s2。噪音测试   通过在以下 12 种不同运行状态和方向下对一批泵进行一系列测试，来验证泵噪音：垂直、水平和翻转位置；高温和低温；全速和低速。在正常运行状态下，168 次测量得到的平均噪音为 41 dB(A)+/-3σ。包装测试   通过对带包装的泵进行测试来验证包装性能，在测试时，使带包装的泵从 96 厘米/37.8 英寸的高度以各种角度跌落 18 次。装有 TwisTorr 305 的包装箱可承受 30 g 的加速度，以确保在运输过程中不会因跌落或运输而损坏。

分子泵控制器 “3D” 控制软件

早期的分子泵控制器又叫分子泵电源，其的功能是向分子泵供电；后来，改进型的控制器具备了一定的保护功能，可以监控分子泵的功率和温度，相当于为分子泵的工作状态设置了一条红线，分子泵只能在这条线以下工作（2D），若超过这条线控制器就会报警停机。

与 704FS 配合工作的安捷伦新一代分子泵控制器，变被动保护为主动调整，可以根据不同的工艺条件，自动调整输出功率和转速，使泵在保证自身安全的同时，始终工作在一个达到优性能的曲面上（3D），达到佳的气载量和压缩比。同时因为避免了分子泵超负荷运行，可以延长其使用寿命。

与 704FS 同时发布的还有 804FS 和 404FS，加上之前的 84FS 和 304FS，形成了一个完整的系列。

分子泵故障：　　1、分子泵为何会发生半边热，半边冷的现象？

　　原因：附近有光照或其他热源

　　解决方法：避免光照或热源

　　2、分子泵使用中发现油发黑，请问油为什么发黑？或者多长时间油才会变黑？

　　原因：冷却不良，负载太大

　　解决方法：检查冷却系统，检查真空系统

　　3、分子泵在运转过程中，出现频率从正常下降至一定频率后又***到正常，之后又下降至一定频率，再***到正常，反反复复，更换电源后现象仍如此，请问该现象如何解释？

　　原因：负载太大，系统真空度不够

　　解决方法：检查系统

目前各种真空泵的发展愈来愈受到真空应用场合的影响，一般的真空系统无法满足清洁无油及耐腐蚀的要求，因此近年来干式真空泵市场需求量很大,真空获得产品已经出现更新换代的局面,大量的有油真空系统已被无油清洁的真空系统所代替。国外几乎每一家较大的真空公司都生产各种不同型式的干式真空泵.螺杆真空泵属于非接触型干式泵,是20世纪90年代初期出现的一种理想的泵种,以其抽速范围宽、结构简单紧凑、抽气腔元件无摩擦、寿命长、能耗低、无油污染等优点,但其制造技术为国外掌握,我国尚处于起步阶段,市场对于干式真空泵有迫切的需求。

安捷伦扩散泵特点维护简单，皮实耐用不爱坏扩散泵内部没有活动部件，与机械式真空泵的磨损失效不同，其工作失效的原因主要有泵油劣化、加热器损坏、喷塔被油垢污染等等。安捷伦扩散泵管状加热器和压紧结构设计，拥有很高传热效率的同时，又保证了泵油和加热器本身都没有过热点，泵油不容易裂解，加热器也不容易损坏；同时，精细的热传导和保温结构设计，也使热损失大大降低。

为了减少轴承因长期存放而造成的分布不均匀，安捷伦的分子泵控制器内置了“软启动”功能。如经过运输或者停泵的时间超过 2 个月，可以使用软启动功能启动分子泵，转速以阶梯方式缓慢加速，使得轴承润滑脂在低速阶段有充分时间重新均匀分布。如果存放时间超过 10 个月，建议送回维修中心，让分子泵在检测平台上按照既定程序加速（Re-channeling），磨合轴承。

CombiNEG系列采用安捷伦科技StarCell离子泵抽气单元和赛斯(Saes Groups)的烧结型非蒸散型吸气剂

安捷伦分子泵采用了新的悬浮技术AFS，悬浮转子，能够有限改善震动。AFS提供了超高精度，确保了轴承对准。同时径向静止设计，极大优化转子运动形态和降低噪音。安捷伦提供从TV84FS，TV304FS，TV551，TV701，TV1001，TV2300，TV3KG等不同抽速大小的分子泵，以满足客户不同的应用需求。

安捷伦分子泵采用新的3级TwissTorr 拖动级技术，通过分子泵旋转盘面，提高气体分子动能，从而有效提高抽速和极高的压缩比。新的拖动级技术与上一代设计相比，功耗降低了20%。安捷伦Triscroll 和变频Triscroll 涡旋式干泵为双级涡旋式干泵，是目前市场上极限真空度好的干泵