爱德华分子泵控制器价格复合分子泵「多图」

潽拓光电——{精}，分子泵

爱德华STP-iXA3306CV_Edwa*** STP-iXA3306CV涡轮分子泵维修

类型：气体捕集泵                          品牌：英国EDWA***爱德华                      型号：STP-iXA3306CV

材质：不锈钢                                用途：化工泵                                           原理：真空泵

真空度高：真空度                          驱动方式：电动                                        性能：自动 

输送介质：气体                            功率：3306kw                                          极限压力：33pa

外形尺寸：30cm                          泵轴位置：边立式

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     EDWA*** EPX180L 半导体干式真空泵 EPX180L维修

爱德华EPX 180真空干泵

       Edwa*** EPX 系列支持清洁和轻 型半导体加工应用，如灰化/剥离和注入端点 站应用。EPX 系列以极轻、的 封装提供工具上泵送功能，可实现异常清洁的真空。EPX 泵 采用已获zhuanli的独特单轴再生 Holweck® 分级机构，能够从大气压抽空到小于 7 x 10-7Torr 的极限压力。EPX 泵能够以模块化组件 提供增强的性能，既可集成到制程工具，可以远程安装。重量43.5KG。

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     广州潽拓光电科技坚持如下的服务：

1.坚持使用原装进口巴顿陶瓷轴承保证。

 2.坚持使用原装进口密封套件耗件保证

 3.快修服务：7天*24小时，全年365天无休。

 4.原装进口陶瓷珠轴承，分子泵配件销售业务

 5.提供在线高达240000rpm高速动平衡服务

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Edwa***全磁悬浮涡轮分子泵STP-iS2207 爱德华分子泵

技术参数：

入口法兰尺寸                                VG200/ISO200F/ICF253/ISO250F/VG250/ICF305

前级抽气口尺寸                             KF40

抽速                                              N2/Ar2200/1900 ls-1

压缩比                                           N2/H2>107

极限压力                                        10-6 Pa (10-8 Torr)

允许的前级压力                              200 Pa

大气流 N2 *（仅水冷）                3200 sccm

                                                    (5.41 Pam3s-1)

大气流 Ar *（仅水冷）                1000 sccm

                                                    (1.69 Pam3s-1)

额定速度                                        36500 rpm

运转到 90% 额定速度的时间            <8 分钟

固***置                                       任何方向

输入电压                                        200-240 V

大输入功率（不带 TMS）              750 VA

重量                                               45 kg