花都区ULVAC分子泵维修说明承诺守信 广州潽拓光电

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市场主要磁悬浮分子泵生产商包括真空、Atlas(Edwa***&Leybold)、大阪真空机器制造所、和等，按收入计，2021年大厂商占有大约%的市场份额。从产品泵速方面来看，低于1500升/秒占有重要地位，按收入计，2021年市场份额为%，预计2028年份额将达到%。同时就应用来看，半导体行业在2028年份额大约是%，未来几年CAGR大约为%。

根据不同产品泵速,磁悬浮分子泵细分为:

 低于1500升/秒

1500到3000升/秒

 高于3000升/秒

根据不同应用，本文***关注以下领域：

 半导体行业

 光伏行业

 镀膜行业

 其他

涡轮分子泵的工作特性主要表现在以下几个方面：

（1）抽速与转速的关系抽速与转速之间的关系大致为S（4-67）。其中：g是由几何形状决定的常数；u是活动刀片的转速。随着速度的增加，泵送速度比直线略慢。这可以通过在抽速较高时对进气管电导率的限制来解释。根据（4-66），随着S1的增加，S将偏离直线。

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鉴定充分肯定了公司的技术研发、制造工艺以及检测能力，公司在科技部02专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”——《磁悬浮分子泵系列产品开发与产业化》重大专项研制成果基础上，成功研制新一代智能化、一体化的磁悬浮分子泵。经过质询和讨论，鉴定很终鉴定意见为：公司研制的磁悬浮分子泵系列产品为国内首台（套），具有自主知识产权，主要性能指标达到水平，取得了显著的经济及社会效益，建议进一步推广应用。

作为中国真空技术者，公司始终以“创新科学仪器，发展企业”为使命，以电子光学和真空技术，打造科学仪器设备及装备制造***队，在“十四五”规划的新征程，立足新发展阶段、坚持新发展理念、构建新发展格局，为强化***战略科技力量、实现科技自立自强做出新的贡献。

操作注意事项不能在前级泵工作时（前级管道接通）和真空室处于真空状态时将涡轮分子泵停掉，否则将会使油蒸汽迅速从前级管路返流到泵的清洁端。分子泵系统在停机充干燥气体前，一定要先将分子泵冷却水关闭，且要从泵的高真空端充气。决不能从泵的前级管路进行充气。选择抽气系统前级泵的大小时，应使涡轮分子泵的前级保持在分子流状态下。不能让涡轮分子泵在低于额定工作转速下运转。

分子泵是氦质谱检漏仪中获得高真空重要部,是氦质谱检漏仪中不可或缺关键部件,分子泵性能直接影响检漏仪性能参数的好坏,分子泵的发展直接影响着氦质谱检漏技术。本文***讨论分子泵转速对氦质谱检漏的影响。2、逆扩散型检漏仪逆扩散型的检漏仪的检漏口是连接到高真空泵与低真空泵之间,所以被检试件的可检漏压力就是高真泵的前级耐压。如果试件压力超过这个压力,将使高真空泵不能正常工作。普通涡轮分子泵的前级耐压,一般不超过50Pa,远达不到高压检漏的要求。

1980年国际上出现一种称之为“复合型”的分子泵,现今,其前级耐压很高已达2000Pa。这种泵用作氦质谱检漏仪的高真空泵,可直接实现在高的试件压力下的检漏。用复合分子泵构成的一种可实现高压强下的检漏仪,其工作过程如下。当被检试件抽至1500Pa,V1开，氨气逆扩散穿越整个分子泵进入质谱室，实现仪器的逆扩散检漏。

若能进一步将试件抽至200Pa以下，则V2关闭，V3打开，从泵的中间口逆扩散至质谱室，若能进一步将试件抽至40Pa以下，则V3关闭，V4打开，氦气从泵的上部逆扩散进入质谱室，或直接进入质谱室(常规检漏）。这种从高压检大漏到实现检微漏的全自动过程，一气呵成，不仅，也便于漏率的定量，由于每个状态下的阀门流导和泵的压缩比等参数都是固定不变的，仪器只需1次校准即可。

设置为1mT，泵在该磁场下运行12个小时以稳定转子温度；然后关闭磁场，再运行12个小时以使转子降温；然后再分别把磁场设置为2mT，按照前面的步骤继续进行测试，直至磁场增加到7mT。当磁场逐步增加后，被测分子泵转子的平衡温度也随之上升，当磁场强度为7mT时，平衡温度上升到100摄氏度左右（分子泵的很大允许温度为120度）。

另外，使用该测试平台测试了另一台其它品牌的分子泵，一系列的对比测试表明，分子泵在相同的磁场条件下转子的平衡温度明显较低（5mT时，低大约40度）。2020年12月10日，真空推出全新350和450涡轮分子泵，该产品特别适用于质谱分析、电子显微术、测量技术、粒子加速和等离子体物理方面的应用。新产品的应用领域十分广泛，除了用于分析、真空工艺和半导体技术外，还可用于真空镀膜、研发以及工业领域。

350和450性能强大、重量轻且占地面积小。凭借由前级真空侧陶瓷球轴承和高真空侧永磁径向轴承所组成的混合轴承，系列涡轮分子泵的轴承非常坚固，确保了很佳的可靠性。创新性的转子结构设计赋予了该涡轮分子泵诸多优点：对小分子气体的抽吸能力更大、前级真空泵兼容性广泛、气流量高以及对小分子气体的压缩比。由于可以安装在任意所需方向，该系列泵具有的和灵活性。