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结构组成：涡轮分子泵主要由泵体、带叶片的转子（即动叶轮）、静叶轮和驱动系统等组成。

工作原理：

 主要有立式和卧式两种。

动叶轮外缘的线速度高达气体分子热运动的速度（一般为150～400米/秒）。单个叶轮的压缩比很小，涡轮分子泵要由十多个动叶轮和静叶轮组成。动叶轮和静叶轮交替排列。动、静叶轮几何尺寸基本相同,但叶片倾斜角相反。图为20个动叶轮组成的整体式转子。每两个动叶轮之间装一个静叶轮。真空泵设备的换油，也应该严禁用煤油，qi油，酒精等对泵作非拆卸的清洗。静叶轮外缘用环固定并使动、静叶轮间保持1毫米左右的间隙,动叶轮可在静叶轮间自由旋转。

特点：抽速大、无油、启动快、无油污染、维护简单

工作范围：清洁的低真空~中、高真空，大气~超高真空极限真空：10-6/ 10-10torr

缺点：结构复杂、对轴承耐磨程度要求高、制造成本高 

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分子泵的特点：

-操作维护方便，免维护周期长

-复合型分子泵在较高压强工作段扔有较大抽速

-油润滑分子泵：润滑油量小，且在前级真空段，对真空室污染小

-脂润滑分子泵：油脂量ji小，前级配干泵可获得近似无油的清洁真空。

-全磁悬浮分子泵：无须润滑，与干泵一起使用，可获得无油的清洁真空环境。

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我司针对的leybold Tw70 分子泵维修***内容如下：

＊超声波清洗转/定子叶片及腔体并烘干

＊更换了***原装进口陶瓷轴承,油棉及密封件等损耗品

＊马达线圈阻值测量,转子定子间隙测量

＊根据ISO1940/1& ANSI S2.19,调整测试动平衡至Ｇ0.１6标准

广州潽拓成功维修leybold TW70分子泵，如下图

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广州潽拓光电—— 德国莱宝LEYBOLD  TMP50 分子泵对应的电源为：LEYBOLD NT10  NT12

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