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广州潽拓光电科技有限公司——TV902Agilent分子泵维修改造

抗振动测试   通过对一批泵（处于运行和非运行条件下）进行一系列测试，证明对外部源产生振动的耐受性。在 105 分钟的振动周期中，全转速和不运行的每个泵在垂、水平、倒立方向上受到 0.5–2 g 加速度水平的振动。该测试证实了泵的稳定性以及耐振性，因为未观察到转子机械接触或泵运行状态的改变，且泵不平衡性仍然远低于阈值。温度测试   将泵置于 –40 °C 至 +70 °C（处于非运行状态）以及 0 °C至 40 °C（处于运行状态）下暴露 86 小时。对每个泵的不平衡性和是否可正常操作验证 11 次，结果显示仅存在的变异，远低于阈值。温度测试证实了泵在各种预期运行和非运行温度条件下的稳定性。

殊润滑剂润滑轴承

使用涡轮分子泵的高真空环境对润滑油或润滑脂非常敏感，因为在高真空环境下，润滑油或润滑脂非常容易汽化。一方面，这些油脂类的蒸气会形成一种气源，影响系统的真空度和纯净度；另一方面，这些蒸气进入到真空腔体后，会冷凝附着在其它零件上，影响高真空系统内相关设备的工作。

TwisTorr 704 FS 采用安捷伦与轴承厂家合作研发的轴承，能够任意方向安装；并且，由于其使用的特殊润滑剂饱和蒸汽压极低，正常使用时几乎没有损耗，使得该泵在整个寿命周期内都无需进行加注润滑脂、更换油棉等维护。

与 704FS 配合工作的安捷伦新一代分子泵控制器，变被动保护为主动调整，可以根据不同的工艺条件，自动调整输出功率和转速，使泵在保证自身安全的同时，始终工作在一个达到一定的曲面上（3D），达到气载量和压缩比。同时因为避免了分子泵超负荷运行，可以延长其使用寿命。

安捷伦 HLD 氦质谱检漏仪专为简便易用和优化性能而设计，其预置了 6 个不同的应用设置，通过简择，即可在不同应用间切换，对于大多数常见应用（喷氦、分流、背压法自动检漏等），直接选择相应的应用即可。另外，根据每个应用的特点，检漏仪在出厂时已经预置好了一些设置，并且每个应用可存储 3 组报警值，用户可以根据不同的产品修改报警值并分别保存。

安捷伦 HLD 系列检漏仪有一个好的大漏粗测模式，该模式采用的不是质谱偏转原理，因此不需要很好的真空，可以在高达 2 万帕的压力下检漏，这一点对于大型真空系统的粗检和复杂系统的排查性检漏特别实用。

对使用过的安捷伦扩散泵做过***的客户都会有一种印象，与别的扩散泵经常会结满黑黑的油垢不同，安捷伦的扩散泵喷塔往往在使用好几年后也非常干净，有客户甚至猜测安捷伦的扩散泵喷塔使用了类似不粘锅的涂层。其实，这主要是因为安捷伦扩散泵喷塔上防焦化挡板设计——在每一级喷嘴的上方，都会有一个与下面的喷塔点接触的罩子，该罩子的温度比喷塔低很多，所以，从上方滴下的油滴就不会落到高温的泵塔上焦化结垢，而是滴落在低温的挡板上，这就保证了安捷伦扩散泵的喷塔可以一直很干净，不用定期费时费力清洗

一般的检漏仪只能设置大于某一漏率的报警值。因此在系统检漏时，当分流比过大却没有设置相应的分流比，或者当检漏阀门关闭或堵塞时，就有可能错过泄漏。安捷伦 HLD 系列检漏仪可以同时设置大于某一漏率和小于某一漏率的报警值。这样，当检漏仪的漏率小于经验的本底值或者预先安装的标准漏孔的值时，就会触发报警。另外，在使用自动排序器模式进行密封元器件的检漏时，除了对漏率可以同时设置大于和小于某一漏率的报警值外（使用背压法检漏的器件，当泄漏很大时，检漏仪的读数反而会很小），还可以设置长粗抽时间和检漏时间，从而尽可能地避免系统污染、漏气、堵塞等带来的误报、漏报等