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广州潽拓光电科技有限公司——Agilent分子泵维修点

振动分析   在制造过程中以及泵运输前的测试中，对每台泵的振动频谱进行验证。全速下的平均大振动水平：0.4 m/s2。噪音测试   通过在以下 12 种不同运行状态和方向下对一批泵进行一系列测试，来验证泵噪音：垂直、水平和翻转位置；高温和低温；全速和低速。在正常运行状态下，168 次测量得到的平均噪音为 41 dB(A)+/-3σ。包装测试   通过对带包装的泵进行测试来验证包装性能，在测试时，使带包装的泵从 96 厘米/37.8 英寸的高度以各种角度跌落 18 次。装有 TwisTorr 305 的包装箱可承受 30 g 的加速度，以确保在运输过程中不会因跌落或运输而损坏。

分子泵控制器 “3D” 控制软件

早期的分子泵控制器又叫分子泵电源，其的功能是向分子泵供电；后来，改进型的控制器具备了一定的保护功能，可以监控分子泵的功率和温度，相当于为分子泵的工作状态设置了一条红线，分子泵只能在这条线以下工作（2D），若超过这条线控制器就会报警停机。

与 704FS 配合工作的安捷伦新一代分子泵控制器，变被动保护为主动调整，可以根据不同的工艺条件，自动调整输出功率和转速，使泵在保证自身安全的同时，始终工作在一个达到优性能的曲面上（3D），达到佳的气载量和压缩比。同时因为避免了分子泵超负荷运行，可以延长其使用寿命。

与 704FS 同时发布的还有 804FS 和 404FS，加上之前的 84FS 和 304FS，形成了一个完整的系列。

注意监测前级真空分子泵是一种高真空泵，它必须配合合适的并且性能良好的前级泵才可以正常工作；除了在选型时尽量选择推荐的前级泵之外，分子泵使用时也要注意监测其排气口的压力，避免因前级泵性能下降而使分子泵排气压力过高，造成负荷过大，泵温过高等。这些情况一定要加轴承吹扫分子泵所抽的气体如果含有较多的可凝性气体（如水汽，等），高浓度的氧气、腐蚀性气体，或者粉尘等，需要增配吹扫阀（Purge Valve），工作过程中利用吹扫气（一般为干燥氮气）持续对轴承进行吹扫，以达到隔离污染物，保护轴承的目的。

当磁场逐步增加后，被测分子泵转子的平衡温度也随之上升，当磁场强度为 7mT 时，平衡温度上升到 100 摄氏度左右（安捷伦分子泵的大允许温度为 120 度）。

另外，KIT 使用该测试平台测试了另一台其它品牌的分子泵，一系列的对比测试表明，安捷伦分子泵在相同的磁场条件下转子的平衡温度明显较低（ 5mT 时，低大约40度）。

从上世纪60年代上市以来，安捷伦（即原瓦里安，下同）扩散泵一直口碑很好。很多用户采购新的真空炉或镀膜机等设备时，会用安捷伦的型号，也有很多用户——特别是同时有安捷伦和其它扩散泵的客户——联系安捷伦，要求用安捷伦的扩散泵替换其旧设备上的其它品牌的扩散泵。

安捷伦分子泵的特点

　　油润滑分子泵：润滑油量小，且在前级真空段，对真空室污染小。

　　脂润滑分子泵：油脂量小，前级配干泵可获得近似无油的清洁真空。

　　全磁悬浮分子泵：无须润滑，与干泵一起使用，可获得无油的清洁真空环境。

真空泵常规性能参数测试抽速、压缩比等性能参数是分子泵设计之初就要首先考虑的，也是各项设计调整优化的重要目标。产品定型时，安捷伦对外发布的各项参数和曲线。