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回顾便携式真空计校准装置的研发历程，为了保证校准装置的灵活使用，以实现在线校准的初心为牵引，真空事业部产品研发人员在前期技术积累基础上，开展集智攻关，突破了众多技术难关。为了满足不同空间、不同环境的灵活使用，要保证“尺子”体积足够小、方便携带。

研发人员采用模块化、集成化设计，通过机械设计和硬件结构的不断升级，相较于初代产品结构更加紧凑，使用更为方便；设计为箱体式结构，更好地保护装置本体和标准器，实现长途携带，便于在实验室和现场校准使用。目前，很新代该装置体积约500mm×500mm×850mm。

▲科研人员使用便携式真空计校准装置

第二为了使装置功能强，能够校准不同种类的真空计，要保证装置量程足够宽、精度高。研发人员采用多种计量方法，将静态比较法、动态比较法、动态流量法等集成在一起。由于各种方法的原理、结构均不相同，甚至可能相互干涉，研发人员不断反复地进行迭代试验，创新性地将它们设计组合在一起，实现宽量程、高精度的校准。

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小巧又功能强大的手持式控制器该套装的控制器采用MicroUSB充电线和5号电池双电源供电，用电池供电时可以显示剩余电量，还可以设置自动关闭时间来节省电量，带背光的LED显示屏让真空读数在阳光下和漆黑的环境中都清晰可见。inficon可以设置Pa,kPa,mbar,Torr,mTorr等11种压力单位，还可以选择自然计数或者科学记数法来显示读数。

如果你设置一个报警值，它还可以在真空泵抽到某个真空度时给出声音提示，这样就不用一直盯着真空读数了。有经验的工程师通常可以通过分析压升或者压降的曲线来判断系统是否泄漏或者判断故障的原因，inficon控制器可以记录并显示压力曲线，并且可以根据压力的变化直接显示实时的状态：

抽气（Pump），压力在不断下降

稳定（Stable），压力保持不变

放气（Outgas），压力在不断上升，但压升率越来越小

泄漏（Leak），压力在不断上升，但压升率没有明显的变化

控制器的背后带可收起的支架，可以斜着立在桌面上；还有磁铁，可以吸在管道，机架，甚至泵身上。连接规管的螺旋软线方便收纳， 很长可以拉到2米多。柔软的橡胶保护套使控制器握感舒适，又耐磨耐摔。

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单侧电极inficon电容薄膜真空规管结构图郭占社等提出了基于峰值检测的微电容测量法，该方法可用于检测inficon设备上的单一电容变化量。电路采用实时峰值检测技术，只检测待测电容的变化量。 首先正弦载波信号及微分电路对inficon器件输出的电容量进行载波调制，然后通过减法电路得到幅值与电容变化量成比例的正弦信号， 很后用峰值检测方法对信号进行解调，得到直流输出。测试结果表明，该测量电路具有良好的线性，测量精度可以达到2%，灵敏度可以达到3.6V/pF。但该电路不易于小型化集成。

图2基于峰值检测的微电容测量电路框图Wang等设计了一种具有宽温度范围的基于CMOS的微电容测量电路。 电路采用相关双采样方法，Vref为输入参考电压，时钟信号Φ1、Φ2通过控制开关控制电容的充放电从而完成对敏感电容的测量。保持电容Ch1、Ch2用来存储和消除低频噪声及运算放大器的偏置电压。

电路采用结构简单、性能稳定的二阶Σ-Δ调制器来实现高的分辨率，其中电容C3=2***。测量过程分为两个阶段，当信号Cal置“0”时，电路处于正常工作状态，输出为y；当信号Cal置“1”时，电路处于校准状态，C1和C2位置互换，此时输出为y′。两种状态下的输出信号都包含由时钟反馈回路、电荷注入效应、开关漏电流等产生的噪声，两者相减即可消除这些噪声。

伴随着人工智能技术及其物联网技术的发展趋势，inficon电容塑料薄膜真空计的运用范畴早已从航天航空等高技术行业向通俗化行业扩展，这促使其需要量增大，类型大量，充分考虑销售市场的产品研发经济成本，产品研发和设计方案能达到不一样种类的inficon电容塑料薄膜真空计的电路是下面inficon电容塑料薄膜真空计细微电容测量电路的具体发展前景。

上世纪50时代，D.J.Pacey科学研究用石英晶振测量气体压强。他选用双三级管（整流管）做电路，其一侧与晶振组成Pierce-Miller震荡器，晶振放置被测汽体中作气体压强感应器。当气体压强转变时，阳极氧化电流量也随着转变。据悉该仪器设备能测105Pa到13.3Pa的气体压强。

中国在90时代也有些人研发了石英真空计，常用电路是以晶振自身为頻率液压控制系统的自震荡，自电路。测量范围为0.1Pa~2×105Pa。非常近大家研发的DL-10A型石英真空计选用FC135晶振，测量范围为5×10-1~105Pa。现阶段已经有石英真空计商品，例如：CC-10真空计测量范围是1.33×10-2Pa到大气压力，M-320XG晶振真空计测量范围是1X10-1Pa到大气压，DL-10A型石英真空计测量范围是5X10-1Pa到大气压力。其特点为：感应器体型小，耗电量输出功率小（约1W），精密度较高（约10%），测量范围较宽（10-1~105Pa）等。